多功能性: 可以实现多种镀膜功能，例如制备金属、半导体和陶瓷材料的薄膜，可用于各种应用场合。
环保节能: 使用的工艺气体少，可以实现低污染、低能耗的生产过程，符合环保要求。
高生产效率: 具有高沉积速率、高成膜率和高沉积效率等特点，因此可以实现高生产效率，适用于大批量生产。
高精度控制: 可以通过精细调节工艺参数来控制薄膜的成分、结构和性能，因此具有较高的可控性和精度。
自动化程度高: 可以通过控制系统实现自动化控制，减少了操作人员的工作量，提高了生产效率和产品质量。
设备稳定性好: 结构简单、稳定性好，易于维护和保养，使用寿命长。
